RTA 300/200-FAVC /單腔或雙腔

配置

• 全自動操作模式
• 批量式生產，卡匣存取設計
• 機械手臂自動傳送
• 冷壁式腔體，單腔或雙腔（可擴充） 
• 12“晶圓/石墨/ SiC載盤
• 燈管交叉陣列配置
• 常壓/正壓/真空製程

規格

• 熱電偶/非接觸型高溫計（Pyrometer）
• 溫度範圍：300~1150ºC
• 升溫速率：30°C /秒（載盤）或100°C /秒（裸片）
• 溫度精度：±1ºC
• 溫度重現性：±2ºC
• 溫度均勻性：1 σ （standard deviation）≦ 0.4% °C
• 加熱溫區：12個硬件，24個軟件設置
• 控制演算法：多點輸入、多區塊閉迴路控制（Multi-In Multi-Out）
• 控制頻率：50/60 Hz