配置

• 手動操作模式
• 桌上型
• 冷壁式腔體
• 4“晶圓/石墨/ SiC載盤
• 燈管交叉陣列配置
• 常壓/真空製程
•  

規格

• K Type / R Type 熱電偶
• 溫度範圍：300ºC~1000ºC
• 升溫速率：30°C /秒（載盤）或100°C /秒（裸片）
• 溫度精度：±1ºC
• 溫度重現性：± 2ºC
• 溫度均勻性：±1%
• 加熱溫區：6個硬件，12個軟件設置
• 控制演算法：單點輸入、多區塊迴路控制（Multi-In Multi-Out）
• 控制頻率：50/60Hz