• eRTA 50系列 1
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eRTA 50系列

產品說明
配置
  • 桌上型
  • 冷壁式腔體
  • 2“晶圓/石墨/ SiC載盤
  • 燈管交叉陣列配置
  • 大氣或真空製程
  • 可使用尖峰(Spike)退火
 
規格
  • K Type / R Type 熱電偶
  • ​溫度範圍：300~1000ºC
  • ​升溫速率：50°C /秒（載盤）或200°C /秒（裸片）
  • 溫度精度： ±1ºC
  • 溫度重現性：±2ºC
  • 溫度均勻性：±1%
  • 加熱溫區：1個硬件
  • 控制演算法：單點輸入、單一區塊閉迴路控制（Single-In Single-Out）
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