產品介紹
產品說明
RTA 300-FAVC /單腔或雙腔
配置
- 全自動操作模式
- 批量式生產,卡匣存取設計
- 機械手臂自動傳送
- 冷壁式腔體,單腔或雙腔(可擴充)
- 12“晶圓/石墨/ SiC載盤
- 燈管交叉陣列配置
- 常壓/正壓/真空製程
規格
- 熱電偶/非接觸型高溫計(Pyrometer)
- 溫度範圍:300~1150ºC
- 升溫速率:30°C /秒(載盤)或100°C /秒(裸片)
- 溫度精度:±1ºC
- 溫度重現性:±2ºC
- 溫度均勻性:1 σ (standard deviation)≦ 0.4% °C
- 加熱溫區:12個硬件,24個軟件設置
- 控制演算法:多點輸入、多區塊閉迴路控制(Multi-In Multi-Out)
- 控制頻率:50/60 Hz