產品介紹
產品說明
配置
- 手動操作模式
- 暖壁式腔體
- 6“晶圓/石墨/ SiC載盤
- 燈管交叉陣列配置
- 常壓製程
規格
- K Type / R Type 熱電偶
- 溫度範圍:300ºC~1000ºC
- 升溫速率:30°C /秒(載盤)或100°C /秒(裸片)
- 溫度精度:±1ºC
- 溫度重現性:± 2ºC
- 溫度均勻性:±1%
- 加熱溫區:6個硬件,12個軟件設置
- 控制演算法:單點輸入、多區塊迴路控制(Multi-In Multi-Out)
- 控制頻率:50/60Hz