產品介紹
產品說明
配置
- 手動操作模式
- 桌上型
- 冷壁室腔體
- 2“晶圓/石墨/ SiC載盤
- 上層紫外燈
- 下層交叉紅外燈
- 常壓/空製程
規格
- K Type / R Type 熱電偶
- 紫外光輔助熱處理
- 溫度範圍:300ºC~1000ºC
- 升溫速率:30°C /秒(載盤)或100°C /秒(裸片)
- 溫度精度:±1ºC
- 溫度重現性:± 2ºC
- 溫度均勻性:±1%
- 加熱溫區:1個硬件
- 控制演算法:單點輸入、低一區塊閉迴路控制(Single-In Single Out)
- 控制頻率:50/60Hz