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RTA快速升溫退火爐、高溫爐
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RTA快速升溫退火爐、高溫爐
雷射加工系列
客製化設備
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雷射加工系列
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eRTA 50系列
產品說明
配置
桌上型
冷壁式腔體
2“晶圓/石墨/ SiC載盤
燈管交叉陣列配置
大氣或真空製程
規格
K Type / R Type 熱電偶
溫度範圍:300~1000ºC
升溫速率:30°C /秒(載盤)或100°C /秒(裸片)
溫度精度: ±1ºC
溫度重現性:±2ºC
溫度均勻性:
±1%
加熱溫區:1個硬件
控制演算法:單點輸入、單一區塊閉迴路控制(Single-In Single-Out)
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