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RTA快速升溫退火爐、高溫爐
雷射加工系列
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Hot Plate Annealing
產品說明
Configuration
Reactor chamber x 1
Cassette station x 1
Transferring robot x1
Oxygen analysis
Process
12” wafer Cu annealing
Vacuum environment
Oxygen <30ppm
100± 1 ºC
400± 5 ºC
回上層
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